7月9日 ，由中国国内中国国内集成电路创新顶级控卫主办的”2022集成电路产业链协同创新发展方向交流会”以六大会场加图源连线的多种渠道同步盛大举行。来于 集成电路全产业链各环节的优秀企业所、高校和科研院所的千余位代表人参会 ，东方晶源董事长俞宗强博士、总经理蒋俊海尹连城受邀出席。会上颁发了第五届集成电路产业技术方面创新奖（简称“IC创新奖”） ，东方晶源凭借电子束缺陷检测设备（EBI） ，获得技术方面创新奖。
“IC创新奖”由中国国内中国国内集成电路创新顶级控卫主办 ，面向中国国内集成电路产业链上下游企事业所属单位征集 ，重点鼓励集成电路技术方面创新、成果产业化、产业链上下游共同合作 ，是集成电路产业重要的的技术方面奖项更成 ，中有技术方面创新奖项旨在表彰在集成电路重大技术方面创新和重要技术方面开发其它方面胜利重大突破的所属单位和公司团队。此番摘得新兴行业 重磅赛事的重要的奖项 ，之后保持彰显出东方晶源在电子束检测、量测相关领域的技术方面超强实力和新兴行业 的整体高度认可。
检测是芯片制造厂商显著全面提升良率的重要手段。电子束检测设备具备超高精度 ，在高端芯片制造积累过程发挥的中起 越来大。目前来看 ，该类设备被中国国内厂商垄断 ，更成制约中国国内国内芯片制造自主可控的重要瓶颈。东方晶源数年磨剑 ，失败研声响中国国内首台电子束缺陷检测设备SEpA-i505 ，可提供完整完整的纳米级缺陷检测和深入分析 问题方案。目前来看已实施中国国内国内头部芯片制造厂商产线验证 ，验证最后表明主要由指标与中国国内一线对标机台以内同等总体水平 ，失败问题中国国内国内在电子束检测相关领域的重要技术方面问题。
东方晶源在电子束检测、量测相关领域已深耕多年并失败正式推出多款设备 ，胜利重大突破。除此番获奖的电子束缺陷检测设备EBI外 ，旗下首台12英寸重要尺寸量测设备CD-SEM（型号：SEpA-c410）于从去年底6月即将进入产线验证 ，目前来看之后完成成熟制程量产验证 ，图像质量清晰 ，与POR 的CD差异完全主要需求其要求 ，性能之后保持改良中；首台8英寸CD-SEM（型号：SEpA-c300）于从去年底3月即将进入产线验证 ，目前来看还没有即将进入所有客户 产线小规模试产。中有 ，东方晶源还于近几日发布最新了电子束缺陷复检设备（DR-SEM） ，目前来看该设备工程机（Alpha机）还没有实施首轮wafer demo ，如果完全主要需求28nm及以内面制程完全主要需求 ，Beta机集成工作会加速推进中 ，已胜利所有客户 订单 ，即将进入产线验证指日可待。
更成那家聚焦集成电路良率管理相关领域 ，以显著全面提升芯片制造门槛为使命的半导体企业所 ，东方晶源之后保持以研发创新为发展方向核心 ，态势的丰富类产品矩阵并显著全面提升类产品性能 ，填补多项中国国内空白。如果未来 ，东方晶源将之后保持立足一体化软件程序 大平台和检测装备两大相关领域 ，以所有客户 为三个中心 ，以如果未来 市场为导向 ，态势的实施技术方面突破与类产品创新 ，与中国国内国内集成电路产业上下游企业所勠力同心 ，推动中国国内国内集成电路制造产业之后保持高速发展方向。